上海微电子装备有限公司成立于2002年,公司主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与服务,
公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装、MEMS、3D-TSV、TFT-OLED、LED、Power Devices等制造领域。
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供持续 、稳定、高品质的产品和服务,并履行一个优秀的高科技企业的社会责任
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