2017新年伊始，北方华创自主研发的Booster A630单片退火设备，成为首台搬入上海华力微电子二厂的高端电子工艺装备。
Booster A630设备，应用于集成电路后段制程中硅片表面清洁处理、K值恢复等工艺。目前，该产品凭借工艺温度均匀性高、颗粒控制力强、处理时间短、单位产能大等特点，获得了客户的良好评价。
Booster A630设备推出以来，先后进入中芯国际（上海）、中芯国际（北京）、华力微电子等国内主流集成电路制造厂商，参与验证及生产，累计流片数量逾60万片，积累了良好的技术指标和稳定的运行记录，已成为公司量产机台。未来公司将积极谋求与更多客户合作的机会，把握产业发展的契机。
