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中国首条6英寸SiC芯片生产线完成技术调试

放大字体  缩小字体 发布日期:2017-12-22 来源:株洲中车时代电气浏览次数:487
   时代电气半导体事业部SiC芯片线已于12月份完成全部工艺能力调试。该芯片线是国内首条6英寸SiC芯片生产线,总建设投资3.5亿人民币,是公司的重点投资项目,同时也获得了国家“02”专项、国家发改委新材料专项等国家重点项目支持。
  半导体事业部SiC器件产业建设团队在时间紧、任务重、无成熟经验可借鉴的情况下,攻坚克难,通过缜密繁杂的各方协调、积极推进,先后安全完成工艺、检测、测试设备搬入、调试,SiC线的特殊厂务系统调试等一系列高难度、高危险的任务,为SiC工艺设备提供源源不断、稳定可靠的“粮食”供应。12月份,在各方共同努力下完成了最后一项工艺能力调试。目前,该芯片线厂务、动力、工艺、测试条件都已完备,具备SiC产品生产条件,可同时开展高温离子注入工艺、栅极氧化氮化工艺等SiC 器件特有工艺的生产线之一。该芯片线可以实现4寸及6寸SiC SBD、PiN、mosFET等器件的研发与制造。
 
  SiC芯片线的工艺调试按时完成,助力公司半导体产业抢占市场先机,布局前沿技术领域,标志着我国SiC芯片产品的研发和制造能力获得了跨越式的发展,也使得国产SiC芯片在国际上的竞争力得到大幅度提升。
 
  时代电气半导体事业部SiC芯片线已于12月份完成全部工艺能力调试。该芯片线是国内首条6英寸SiC芯片生产线,总建设投资3.5亿人民币,是公司的重点投资项目,同时也获得了国家“02”专项、国家发改委新材料专项等国家重点项目支持。
 
  半导体事业部SiC器件产业建设团队在时间紧、任务重、无成熟经验可借鉴的情况下,攻坚克难,通过缜密繁杂的各方协调、积极推进,先后安全完成工艺、检测、测试设备搬入、调试,SiC线的特殊厂务系统调试等一系列高难度、高危险的任务,为SiC工艺设备提供源源不断、稳定可靠的“粮食”供应。12月份,在各方共同努力下完成了最后一项工艺能力调试。目前,该芯片线厂务、动力、工艺、测试条件都已完备,具备SiC产品生产条件,可同时开展高温离子注入工艺、栅极氧化氮化工艺等SiC 器件特有工艺的生产线之一。该芯片线可以实现4寸及6寸SiC SBD、PiN、MOSFET等器件的研发与制造。
 
  SiC芯片线的工艺调试按时完成,助力公司半导体产业抢占市场先机,布局前沿技术领域,标志着我国SiC芯片产品的研发和制造能力获得了跨越式的发展,也使得国产SiC芯片在国际上的竞争力得到大幅度提升。
 
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