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成果推荐 | 采用MOCVD制备的锑化物红外探测器

放大字体  缩小字体 发布日期:2024-02-01 浏览次数:232

成果名称:采用MOCVD制备的锑化物红外探测器

成果来源:苏州纳米技术与纳米仿生研究所

成果介绍:

成果(项目)简介锑化物超晶格红外探测器主要用于红外成像,气体探测,目标识别,资源探测等领域。本项目采用工业界主流的III-V半导体制备技术金属有机物化学气相沉积MOCVD生产InAs/GaSb 超晶格探测器,并建立了从器件设计-材料外延-芯片制造的成熟链条,可提供高性能中波、长波、双色的外延片和芯片。成果(项目)创新性/主要优势/知识产权布局 

世界上唯一一家采用MOCVD制备高性能锑化物超晶格的团队,在器件性能、产能、成本上都优于分子束外延MBE制备的器件。MOCVD使用的原料包括衬底和MO源完全国产化。目前拥有10多项发明专利。 

技术成熟度:暂无

来源:中国科学院知识产权与科技成果转化网

 
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