成果名称：采用MOCVD制备的锑化物红外探测器
成果来源：苏州纳米技术与纳米仿生研究所
成果介绍：
成果（项目）简介锑化物超晶格红外探测器主要用于红外成像，气体探测，目标识别，资源探测等领域。本项目采用工业界主流的III-V半导体制备技术金属有机物化学气相沉积MOCVD生产InAs/GaSb 超晶格探测器，并建立了从器件设计-材料外延-芯片制造的成熟链条，可提供高性能中波、长波、双色的外延片和芯片。成果（项目）创新性/主要优势/知识产权布局
世界上唯一一家采用MOCVD制备高性能锑化物超晶格的团队，在器件性能、产能、成本上都优于分子束外延MBE制备的器件。MOCVD使用的原料包括衬底和MO源完全国产化。目前拥有10多项发明专利。
技术成熟度：暂无
来源：中国科学院知识产权与科技成果转化网
