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郑州大学教授刘玉怀:通过MOVPE在AlN /蓝宝石模板上外延生长h-BN薄膜

放大字体  缩小字体 发布日期:2019-11-27 来源:中国半导体照明网浏览次数:385
11月25-27日,由深圳市龙华区科技创新局特别支持,国家半导体照明工程研发及产业联盟(CSA)、第三代半导体产业技术创新战略联盟(CASA)主办,深圳第三代半导体研究院与北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司共同承办的第十六届中国国际半导体照明论坛(SSLCHINA 2019)暨2019国际第三代半导体论坛(IFWS 2019)在深圳会展中心召开。
 
11月26日上午,“超宽禁带半导体技术” 分会如期召开。本届分会由苏州锴威特半导体股份有限公司、中国电子科技集团第十三研究所、国家电网全球能源互联网研究院有限公司、英诺赛科科技有限公司协办。
 
以金刚石、氧化镓、氮化铝、氮化硼等为代表的超宽禁带半导体材料的研究和应用,近年来不断获得技术的突破。超宽带半导体材料具有更高的禁带宽度、热导率以及材料稳定性,在新一代深紫外光电器件、高压大功率电力电子器件等意义重大的应用领域具有显著的优势和巨大的发展潜力。

日本国立佐贺大学同步辐射光应用研究中心主任、电气电子系教授郭其新,中国科学院微电子所研究员,西安电子科技大学教授张金风,瑞士Microdiamant研发部门负责人Christian JENTGENS,郑州大学教授、日本名古屋大学客座教授刘玉怀,西安交通大学副教授李强,北京大学刘放、中国科学技术大学赵晓龙等来自中外嘉宾联袂带来精彩报告。
刘玉怀
会上,郑州大学教授刘玉怀做了题为“氮化铝/蓝宝石模板上六方氮化硼薄膜的有机金属气相外延研究”的报告,介绍了多层h-BN膜的表面和结晶度、微观结构和键合结构。h-BN在AlN上的生长模型等研究内容。研究成功证明了通过脉冲模式MOVPE在AlN模板上直接生长单晶多层h-BN,在AlN表面上形成连续和聚结的多层h-BN,提出了初始帽形核的生长模型,然后在AlN上进行h-BN的二维横向生长。
 
(内容根据现场资料整理,如有出入敬请谅解)

 
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