中微半导体设备有限公司(简称“中微”)的MOCVD设备Prismo D-Blue™于本月举办的第十五届中国国际工业博览会(简称“工博会”)上荣获银奖。该产品于今年3月正式发布，是此次获奖产品中唯一代表半导体外延工艺的MOCVD设备，该产品技术对于高亮度LED的大规模生产至关重要。作为生产LED芯片的关键设备，MOCVD设备市场一直为欧美企业所垄断。具有自主知识产权的MOCVD设备国产化成功，意味着相关技术长期被国外垄断的局面将被打破，国内LED自主产业生态链也将更加完善。
(图中人物：上海市科委主任寿子琪，上海蓝光科技有限公司技术和质量管理副总裁郝茂盛博士，中微首席运营官兼MOCVD产品事业群总经理杜志游博士)
中国领先的本土LED生产商上海蓝光科技有限公司是中微MOCVD设备的第一批用户之一。在祝贺中微获奖时，蓝光公司技术和质量管理副总裁郝茂盛博士特别提出：“中微的设备性能超出了我们的预期，达到了MOCVD设备所应具备的高工艺标准。中微MOCVD设备得此荣誉乃实至名归。我们很乐于看到中微的MOCVD设备能够在工博会上得到肯定，同时也准备在我们的LED生产线中能够更广泛地使用中微的设备。”
根据工博会评奖管理办法，银奖的获得者必须符合以下条件：第一，属于全球高科技产业或装备制造业主导领域的新技术、新产品，达到当代国际先进水平或属于国内首创;第二，市场竞争力较强，在科技创新和产业化过程中，经济效益或社会效益相当显著;第三，必须拥有自主知识产权。只有拥有独立自主知识产权的产品才可以参与评奖。中微的MOCVD设备通过层层严格评审，最终在工博会银奖的获奖名单中位列榜首。
中微首席运营官兼MOCVD产品事业群总经理杜志游博士表示：“我们非常自豪能够获此殊荣。Prismo D-BlueTM产品是我们MOCVD团队长期坚持不懈努力的结果，同时也离不开供应商和像蓝光这样优质客户的紧密合作和支持。在中微团队的创新和努力之下所开发的MOCVD设备，帮助客户提高了LED的生产效率，也降低了生产成本，并因此而得到客户的认同和重视。”
中国国际工业博览会创立于1999年，是国家发展和改革委员会、商务部、工业和信息化部、科学技术部和上海市人民政府等部门共同主办的最具国际影响力的工业博览会。
Prismo D-Blue是中微公司的注册商标。
关于中微半导体设备有限公司
中微公司致力于为全球半导体和LED芯片制造商提供领先的工艺技术解决方案。除MOCVD设备以外，公司目前主要提供等离子体刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备，用于国际一线集成电路客户45纳米到20纳米及更先进的芯片加工制造和先进封装。目前，中微已有200多个刻蚀反应机台在亚洲地区20多条国际领先的生产线上运行。中微开发的用于大批量LED外延片生产的MOCVD设备也已进入生产线运行。
