山西春明激光科技有限公司与中国科学院半导体研究所、中国科学院物理研究所共同承担了863计划“钛酸锶与铝酸镧薄膜制备技术及器件开发”课题，课题于2015年9月16日通过了科技部组织的中期现场检查。
课题组联合攻关，突破L-MBE设备用大脉冲能量激光器关键技术，实现了高能量的紫外脉冲激光器，体积仅为进口激光器的1/3，脉冲稳定性和脉冲宽度优于进口激光器，并将其成功集成的自主研制的外延腔中，实现了全国产化的激光L-MBE设备，并初步实现高质量钙钛矿氧化物薄膜材料的生长。从根本上打破国内宽禁带半导体行业发展依赖于进口设备的局面，这将会促进我国宽禁带半导体材料的快速发展，也是我国宽禁带半导体材料实现创新跨越发展的必然趋势。
图1 自主研发激光器与进口激光器体积比较
图2 自主研制L-MBE设备
图3 中期检查汇报现场
