中微公司解释，2021年一季度营业收入较上年同期增长46.24%，主要系：受益于市场行情及公司产品的竞争优势，刻蚀设备和MOCVD设备收入分别为3.48亿元和1.33亿元，较上年同期分别增长63.75%和76.85%。
2021年一季度归属于上市公司股东的扣除非经常性损益后的净利润较上年同期增加约0.17亿元，由亏损转为盈利，主要系：(1)公司本期营业收入增长46.24%，同时本期毛利率为40.92%，较上年同期的33.86%增长约7.06个百分点，公司本期毛利较上年同期增加约1.07亿元;(2)本期股份支付费用较上年同期增加约0.51亿元;(3)由于员工人数和员工薪酬的增长，以及研发消耗材料的增加，本期不含股份支付费用的销售费用、管理费用和研发费用合计较上年同期增加约0.37亿元。
2021年一季度归属于上市公司股东的净利润较上年同期增加约1.12亿元，增长约425.36%，主要系：(1)扣除非经常性损益后的净利润较上年同期增加约0.17亿元;(2)本期计入当期损益的政府补助较上年同期增加约1.43亿元;(3)公司2020年投资青岛聚源芯星股权投资合伙企业(有限合伙)3亿元而间接持有中芯国际集成电路制造有限公司(以下简称“中芯国际”)科创板股票，因本期中芯国际股价变动导致公司产生公允价值变动损失约0.24亿元。
