近日,由浪潮华光主持制定的国家标准《LED外延芯片用砷化镓衬底》经由国家市场监督管理总局(国家标准化管理委员会)正式发布,为LED外延芯片用砷化镓单晶衬底的生产、检测及质量评价提供了标准支撑。
《LED外延芯片用砷化镓衬底》作为半导体照明产业基础性技术规范,规范了LED产业链上游关键衬底材料的技术要求和检测方法,包含晶体质量、电学性能、表面形貌等关键技术指标,为砷化镓衬底材料的制造、采购及质量检测提供统一依据。该标准主要服务于半导体衬底材料生产企业质量控制、LED外延芯片制造企业来料检验、第三方检测机构认证依据以及行业主管部门质量监督,标准实施后,将极大促进我国LED产业上游材料的标准化进程,为国产砷化镓衬底参与国际市场竞争提供强有力的技术支撑。