设备厂表示，大陆十三五计划已经将高科技补助的项目转往半导体产业，LED产业的补助看似暂歇，但各地方政府仍倾向把先前承诺的补助走完，虽然补助转向，短时间还是不会影响陆资厂的产能释放，厦门三安、华灿光电为让补助款落袋，应该会继续冲刺产能，维持扩产步伐。
设备厂指出，厦门三安2015年原定100台MOCVD的扩产计划，设备订单由Veeco、AIXTRON分食，不过三安去年底宣布向AIXTRON采购的50台设备到货3台之后，终止剩余47台的采购合约，虽然原因不明，但厦门三安积极寻找可以接替的设备供应商，陆资设备厂正磨刀霍霍。
根据设备厂分析，厦门市政府预计将先前承诺的补助走完，等于展延补助到明年，这50台MOCVD只要设备采购订单在今年底到明年第一季释出、设备在2016年底之前稼动，三安应该就可以顺利拿下补助款，因此即使价格不好，三安还是会尽力开动新产能；而三安这50台MOCVD属于大机台（30片磊晶），产能规模约当100台MOCVD，如果产能尽数释出，约当晶电总产能的30％，晶电虽是龙头厂，晶片的技术层次领先三安，然大方向仍供过于求，晶片价格还是看跌。
设备商坦言，LED晶片价格不佳，除了三安、华灿为了争取补助款以外，扩产的业者并不多，因此MOCVD设备厂多半也锁定这两家；华灿光电位于张家港的厂区也可望开动15台MOCVD，成为另一股新产能来源。
