2017年8月1日，全球领先的半导体行业沉积设备供应商AIXTRON爱思强股份有限公司（法兰克福证券交易所：AIXA）今日宣布，AIXTRON爱思强近耦合喷淋头(CCS)全新的工艺腔室已通过全球领先的中国光电制造商三安光电的成功验证。该工艺腔室经过全新的设计，用于生产深紫外光LED。
基于AIXTRON爱思强久经验证的近耦合喷淋头技术，此全新的工艺腔室是首个提供极高制程温度，以满足深紫外光LED生产的商用金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器。腔室的性能提高后，将促进深紫外光LED的大批量、低成本生产，可用于水净化和空气净化等应用。19x2英寸的配置意味着此腔体是目前深紫外高端MOCVD市场的最大腔体配置。
三安光电技术中心副总卓昌正博士表示：“AIXTRON爱思强近耦合喷淋头反应器全新的设计是推动三安光电生产新一代深紫外光LED产品的关键因素，有助于提高量子效率和极大提高输出功率。业已成为最大的LED供应商之一，AIXTRON爱思强全新设计的工艺腔室为我们实现在深紫外光LED领域的战略目标提供全力支持，进一步增强我们的行业领导力。因此，我们非常高兴能够成为首家验证并使用AIXTRON爱思强全新反应器设备套件的公司。”
