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郑州大学物理工程学院教授单崇新 :高质量金刚石的CVD生长

放大字体  缩小字体 发布日期:2017-11-07 来源:中国半导体照明网浏览次数:822
  2017年11月1日-3日,第十四届中国国际半导体照明论坛(SSLCHINA2017)暨 2017 国际第三代半导体论坛(IFWS 2017)在北京顺义隆重召开。论坛由国家半导体照明工程研发及产业联盟、第三代半导体产业技术创新战略联盟、北京市顺义区人民政府主办,中关村科技园区顺义园管理委员会、北京半导体照明科技促进中心和北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司承办。论坛同时得到了科技部、发改委、国标委和北京市科委等主管部门的大力支持。
 
  11月2日下午,“超宽禁带半导体及其它新型半导体材料”分会如期举行。分会重点关注超宽禁带半导体材料的制备、工艺技术、关键设备及半导体器件应用,聚焦超宽禁带半导体材料及器件应用发展的新技术、新应用和新趋势,积极推动我国超宽禁带半导体材料和器件应用的发展。
 
  日本Novel Crystal Technology公司总裁Akito KURAMATA,广西大学杰出教授、台湾大学荣退教授冯哲川, 西安交通大学教授王宏兴,中国科学院微电子研究所研究员龙世兵,山东大学教授陶绪堂,郑州大学物理工程学院院长、教授单崇新,河北半导体研究所专用集成电路国家级重点实验室高级工程师王晶晶,山东大学/济南中乌新材料有限公司王希玮等来自国内外的重量级嘉宾出席并带来了精彩报告。中科院微电子所教授,中国科学院院士刘明与厦门大学校长、南京大学教授张荣共同主持了本届分会。
单崇新
 
  郑州大学物理工程学院院长、教授单崇新介绍了高质量金刚石的CVD生长。金刚石是自然界产生的最坚硬的一种材料,因为它极高的硬度,一直被当做是打磨的工具,切割的工具等,在不同的方面都有应用,日常生活以及工业生产中都能用到金刚石。除了高硬度以外,金刚石还有很多其他独特的特点,很适合当做半导体材料,比如非常高的带隙、电压、非常高的热传导性等,这些特点使得金刚石一直被认为是重要的,也是非常有潜力的下一代半导体器件的原料。把金刚石材料转变成金刚石器件还有很长的路要走,也需要很多高品质的材料,这是非常基本的一步。
 
  金刚石硬度非常高,在单纯利用它的硬度的时候,杂质的含量不是那么重要,但是如果要制造成为半导体器件,纯度非常重要,必须要有非常高品质的金刚石晶元和晶体。报告中,单崇新介绍了生长高纯度金刚石的研究成果。他表示,为了实现高品质的金刚石材料,必须要使用CVD的生长方式,其团队研制的单晶体的晶片,品质经过了评估,达到了非常高的程度。
    (内容根据现场资料整理,如有出入敬请谅解)
 
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