上海福赛特：打造中国领先的LED/GaN半导体AMHS设备提供商

 

　　上海福赛特机器人有限公司自主研发的MOCVD AMHS智能物流系统，已经在行业头部客户处投入运行生产。该系统实现MOCVD工艺设备的晶圆倒片、晶圆传输以及数据记录和追溯功能，有效降低了人工成本，并通过全自动生产的方式减少了人工参与造成的产品不良，降低了石墨盘的损耗从而提高了其使用寿命。

 

　　该系统主要分为倒片区设备和MOCVD工艺设备区设备。倒片区设备主要包括晶圆倒片机，电子货架、倒片区定制AGV和AGV充电设备；MOCVD工艺设备区设备主要包括MOCVD工艺设备、MOCVD中转单元、工艺设备区定制AGV和AGV充电设备。除MOCVD工艺设备外的其它所有设备均由上海福赛特机器人有限公司提供。

 

　　MOCVD AMHS智能物流系统具有全自动、高节拍、高精度、高配置、智能化、可扩展等特点。

 

　　●AGV运载石墨盘根据调度系统指令自动在电子货架、晶圆倒片机、MOCVD中转单元之间对接；

 

　　●电子货架存储石墨盘且与中控系统实时通讯并监控石墨盘状态；

 

　　●晶圆倒片机实现自动上下石墨盘、Pocket自动清洁、晶圆mapping、晶圆寻边、Wafer ID读取、自动上片、自动下片、Wafer ID与盘SN绑定link后上传至MES；

 

　　●MOCVD中转单元与MOCVD工艺设备无缝对接，实现自动上下石墨盘，收集MOCVD腔体状态信息并与中控系统通讯；

 

　　●该系统上下片的节拍为425pcs/小时；产品良率≧99.9%；晶圆片上下片重复定位精度可达到±0.05mm，±0.1度以内。

 

　　MOCVD AMHS 智能物流系统能够大幅提升工艺设备的运行效率，显著提升产品良率，是LED/GaN半导体高端制造的首选。福赛特将继续深耕半导体设备行业，在已推出的PVD晶圆倒片机，PSS晶圆上下片机，MOCVD?AMHS系统等独家自主研发产品的基础上，继续加大研发力度，进一步优化交付和服务质量，成为中国领先的LED/GaN半导体AMHS设备提供商！

 

　　上海福赛特机器人有限公司是一家从事高端装备研发和制造的高新技术企业，总部位于上海。主要业务板块有半导体，新能源，新材料和智能交通系统。在半导体领域，福赛特拥有PVD、PSS、MOCVD等工艺制程段晶圆倒片、上下片、AMHS等多种设备，能够大幅提升晶圆制造工厂的自动化智能化水平和产品良率。相关设备已成功应用于三安光电、华灿光电、同鑫光电等行业头部企业。公司注册资本1.149亿元，研发人员近百人，拟于2024年在科创板上市。

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